|
1. HỆ bay hơi chân không (Mini Sputter)
Phụ trách thiết bị: TS. Phạm Duy Long, Trưởng phòng Vật liệu và Linh kiện Năng lượng
|
|
|
|
2. THIẾT BỊ TẠO MÀNG MỎNG BẰNG PHƯƠNG PHÁP PHÚN XẠ
MAGNETON SPUTTERING SYSTEM EDWARDS AUTO 306
Phụ trách thiết bị: PGS. Lê Văn Hồng/
TS. Vũ Đình Lãm
|
|
|
|
3. hỆ THIẾT BỊ TẠO MÀNG MỎNG BẰNG laser
Pulse Laser ablation deposition system
Phụ trách thiết bị: PGS. Lê Văn Hồng/
TS.Vũ Đình Lãm
|
|
|
|
4. THIẾT BỊ LẮNG ĐỌNG PHA HƠI HOÁ HỌC PLASMA VI SÓNG
MICROWAVE PLASMA CHEMICAL VAPOR DEPOSITION (MPCVD)
Phụ trách thiết bị: Nguyễn Văn Chúc, Phó trưởng phòng Vật liệu cacsbon nano
|
|
|
|
5. HỆ BỐC BAY CHÂN KHÔNG BẰNG CHÙM TIA ĐIỆN TỬ
Phụ trách thiết bị: TS. Phạm Duy Long, Trưởng phòng Vật liệu và Linh kiện Năng lượng
|
|
|
|
6. THIẾT BỊ QUANG KHẮC URE - 2000S
LITHOGRAPHY EQUIPMENT URE-2000S
Phụ trách thiết bị:
|
|
|
|
7. HỆ THỐNG HÀN ĐIỂM BẰNG LASER
Laser welding system
Phụ trách thiết bị: PGS. Vũ Doãn Miên
|
|
|
|
8. ThiẾt bỊ điỆn hóa AUTOLAB. PGS-30
Electrochemical system: AUTOLAB. PGS-30
Phụ trách thiết bị: TS. Phạm Duy Long
|
|
|
|
9. HỆ THỐNG THIẾT BỊ CHẾ TẠO CÁCH TỬ BRAGG
BRAGG GRATING WRITING SYSTEM
Phụ trách thiết bị: PGS. Phạm Văn Hội
|
|
|
|
10. HỆ CÁC LÒ NUNG + TỦ HÚT
Phụ trách thiết bị: TS. Huỳnh Thị Hà/
Ths. Đinh Xuân Lộc
|
|
|
|
|
|
|
|
11. CỤM CÁC THIẾT BỊ NHỎ
Các thiết bị thí nghiệm:
- Hệ nước cất 1 lần.
- Hệ cất quay chân không (5mbar, 180oC).
- Các máy khuấy từ gia nhiệt (370oC, 1100 vòng/phút).
- Máy khuấy từ 5 vị trí, 120oC, 1100 vòng/phút.
- Máy ly tâm 18000 vòng/ phút (Hettich zentrifugen – EBA 21)
- Tủ sấy chân không 220oC/10-1Torr
- Bình ổn nhiệt 25-100oC
- Bơm dung dịch
- Máy quay phủ (Spincoater)
- Máy rung rửa siêu âm (Ultrasonic Cleaners)
Các thiết bị phân tích nhanh:
- Cân phân tích (Precisa XT220A)
- May đo pH để bàn (InoLab pH 730)
- Máy đo độ dẫn cầm tay (COND 330i / COND340i)
- Máy đo độ nhớt
- Kính hiển vi quang học (ML7520 optical microscopy)
Phụ trách thiết bị: Ths. Đinh Xuân Lộc
|
|
|
|
12. THIẾT BỊ NHIỄU XẠ TIA X – D5000
X-ray diffractometer d5000
Phụ trách thiết bị: PGS. Lê Văn Hồng/
TS. Trần Đăng Thành
|
|
|
|
13. KÍnh hiỂn vi ĐiỆn tỬ quÉt phÂn giẢi cao HITACHI S-4800
Ultra High Resolution Scanning Electron Microscopy FESEM S-4800
Phụ trách thiết bị: Ths. Đỗ Hùng Mạnh
|
|
|
|
14. HỆ THIẾT BỊ HIỂN VI QUÉT ĐẦU DÒ, ĐA CHỨC NĂNG
Scaning Probe Microscopy (SPM)
Phụ trách thiết bị: Nguyễn Văn Chúc, Phó trưởng phòng Vật liệu cacsbon nano
|
|
|
|
15. ThiẾt bỊ điỆn hóa AUTOLAB. PGS-30
Electrochemical system: AUTOLAB. PGS-30
Phụ trách thiết bị: TS. Phạm Duy Long, Trưởng phòng Vật liệu và Linh kiện Năng lượng
|
|
|
|
16. THIẾT BỊ ĐO CÁC TÍNH CHẤT VẬT LÝ CỦA VẬT LIỆU
PHYSICAL PROPERTIES MEASUREMENT SYSTEM MODEL 6000
Phụ trách thiết bị: PGS. Lê Văn Hồng/
TS.Vũ Đình Lãm
|
|
|
|
17. ThiẾt bỊ đo chiẾt suẤt, chiỀu dày Và tỔn hao dẪn sóng quang màng mỎng
Thin film thickness, refractive index and waveguide loss measurement system
(metricon - prism coupler 2010)
Phụ trách thiết bị: TS. Nguyễn Thanh Bình, Trưởng phòng Quang hóa Điện tử
|
|
|
|
18. ThiẾt bỊ đo đỘ dày màng và
hình thái hỌc bỀ mẶt
Surface profiler KLA-Tencor Alpha-step Iq
Phụ trách thiết bị: TS. Nguyễn Thanh Bình, Trưởng phòng Quang hóa Điện tử
|
|
|
|
19. HỆ Đo Quang phỔ ĐỘ nhẠy cao
(DÙng phỔ kẾ iHR550 + Synapse CCD, HORIBA JOBIN YVON)
High resolve photoluminecense system
Phụ trách thiết bị: PGS. Nguyễn Quang Liêm
|
|
|
|
20. THIẾT BỊ ĐO PHỔ HẤP THỤ HỒNG NGOẠI
UV-VIS-NIR SPECTROPHOTOMETER
(CARRY 5000)
Phụ trách thiết bị: PGS. Phạm Văn Hội
|
|
|
|
21. HỆ QUANG PHỔ RAMAN PHÂN TÍCH NHANH
FAST ANALYTICAL RAMAN SPECTROSCOPY SYSTEM LABRAM – 1B (HORIBA)
Phụ trách thiết bị: PGS. Nguyễn Xuân Nghĩa
|
|
|
|
22. THIẾT BỊ PHÂN TÍCH PHỔ CHUYÊN DỤNG CHO SỢI QUANG - OPTICAL SPECTRUM ANALYZER EQUIPMENT OSA - ADVANTEST Q8384
Phụ trách thiết bị: PGS. Phạm Văn Hội
|
|
|
|
23. TỦ THỬ NGHIỆM VẬT LIỆU
CYCLIC CORROSION TEST (CCT) CHAMBERS – CC450xp
Phụ trách thiết bị: TS. Lê Thị Hồng Liên
|
|
|